GSL-1800X-ZF4高真空蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品概述:
GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀,特別適合蒸鍍對(duì)氧較敏感的金屬膜(如Ti、Al 、Au等),也可蒸鍍各種氧化物材料。本機(jī)設(shè)有4個(gè)蒸鍍加熱舟,且每個(gè)蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜,可滿(mǎn)足發(fā)光器件及有機(jī)太陽(yáng)能電池方面的研究要求,是一款鍍膜效果理想且性?xún)r(jià)較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
· 主要特點(diǎn):
真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。
· 采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器,操作方便快捷。
· 真空腔體設(shè)有1個(gè)KF40旁抽閥(直接與前級(jí)機(jī)械泵相連,方便快速取放樣品,提高效率)、1個(gè)CF150閘板 閥(直接與分子泵相連)、1個(gè)KF16法蘭(安裝電阻規(guī))、5個(gè)CF35法蘭(1個(gè)安裝電離規(guī),4個(gè)備用,便于安裝其他設(shè)備)。
· 在腔體底部配有5個(gè)水冷電極,可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。
· 4個(gè)蒸鍍加熱舟上方配有獨(dú)立的可移動(dòng)擋板,有效地避免蒸發(fā)時(shí)相互污染。
(1)樣品臺(tái)安裝在腔體的頂部。
(2)腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測(cè)厚儀,精度為10?。
· 可使用循環(huán)水冷機(jī)。
技術(shù)參數(shù):
· 輸入:?jiǎn)蜗?span>AC208-240V
,
20A,
50Hz/60Hz,
<10KW
· 輸出:0-8V AC 可調(diào),*大電流400A,*大功率8000W(包括真空泵)
· 真空腔:Φ300mm(內(nèi)徑)×400mm,不銹鋼,內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理
· 腔門(mén):Φ200mm
· 觀察窗:Φ95mm,采用專(zhuān)用密封圈密封
· 真空泵:高抽速渦輪分子泵,抽速600L/s(標(biāo)配GZK-103G分子泵)
· 真空度:5.0×10-6torr(泵開(kāi)啟40min后)
(1)極限真空度:5.0×10-7torr (加熱溫度為100℃-150℃)
(2)漏率:5.0×10-7Pa/s
(3)樣品臺(tái):Φ140mm
(4)蒸發(fā)舟與樣品臺(tái)間距:260mm
· 冷卻水需量:15L/min
產(chǎn)品規(guī)格:
· 尺寸:650mm×1200mm×1600mm;
· 重量:600kg