BX41M-LED金相顯微鏡———慧龍環(huán)科010-59483667
產(chǎn)品說明
BX41M-LED金相顯微鏡擁有ESD 防靜電功能,可以保護(hù)電子設(shè)備免受靜電、人體及實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的周邊環(huán)境或商店地面中的靜電的影響
暗視場觀察法
表面安裝板
暗視場可以讓用戶觀察來自樣本散射和衍射的光線。光源的光線會先穿過照明裝置中的環(huán)形光學(xué)照明器件,然后在樣本上聚焦。樣本上的光線只是由Z 軸上的瑕疵反射形成的。因此,用戶可以觀測到比光學(xué)顯微鏡分辨極限更小的、8 nm 級的微小劃痕和缺陷。暗視場適合檢測樣本上的微小劃痕及瑕疵和檢查表面光滑的樣本,包括晶圓。
偏振光觀察法
石棉
該顯微觀察技術(shù)所使用的偏振光是由一組濾鏡(檢偏振器和起偏振器)產(chǎn)生的。樣本特征會直接影響系統(tǒng)反射光的強(qiáng)度。該觀察法適用于觀察金相組織(例,球墨鑄鐵中石墨的生長圖案)、礦物、LCD 和半導(dǎo)體材料。
微分干涉(DIC)觀察法
磁頭
DIC 是一種顯微觀察技術(shù),可以將明視場觀察法中無法檢測到的高度差異,用增強(qiáng)的對比度以浮雕或三維圖像的形式表現(xiàn)出來。該項(xiàng)基于偏振光的技術(shù),擁有三個專門設(shè)計(jì)的棱鏡可供選擇以滿足用戶的需求。該觀察法適用于檢測高度差異極其微小的樣本,包括金相組織、礦物、磁頭研磨面和硬盤表面及晶圓研磨面。
熒光觀察法
半導(dǎo)體晶圓上的顆粒
該項(xiàng)技術(shù)適用于觀察那些在受到專門設(shè)計(jì)的濾鏡(可以按照檢測需要制作)照明時(shí)會發(fā)出熒光(發(fā)出不同波長的光線)的樣本。該方法通過熒光染色,應(yīng)用于觀測半導(dǎo)體晶圓表面的污物、抗蝕劑的殘?jiān)土押鄣臋z測。可以添加選購的復(fù)消色差光源聚光透鏡系統(tǒng),從而為可見光到近紅外線范圍內(nèi)的色差進(jìn)行補(bǔ)償。
IR(紅外線)觀察法
硅晶片層下的半導(dǎo)體電路
對使用了硅片、玻璃等易透射紅外線的電子設(shè)備的內(nèi)部進(jìn)行無損檢測時(shí),IR 觀察十分有效。IR 物鏡也可用于近紅外線技術(shù),如:拉曼光譜儀和YGA 激光修復(fù)應(yīng)用。
處理濾鏡
枝晶
OLYMPUS
Stream 擁有各種濾鏡,可用于邊緣檢測、平滑處理和其它操作。使用處理濾鏡在拍攝的圖像上進(jìn)行增強(qiáng)和修改處理后,圖像的特征變?yōu)榭梢暬?。為達(dá)到佳效果,可使用預(yù)覽圖檢查或調(diào)整濾鏡的效果。
透射光觀察法
LCD彩色濾鏡
對于透明樣本,如,LCD、塑料和玻璃材料,可通過使用各種透射光聚光鏡實(shí)現(xiàn)真正的透射光觀察。使用透射光可以在明視場、暗視場、DIC 和偏振光中對樣本進(jìn)行成像和檢查--所有這些都在一個便捷的系統(tǒng)里。
BX41M-LED金相顯微鏡詳細(xì)參數(shù):
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BX61
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BX41M-LED金相顯微鏡
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光學(xué)系統(tǒng)
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UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正)
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機(jī)身
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照明裝置
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反射/透射
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反射(對應(yīng)ESD功能)
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外置12 V 100 W光源
光量預(yù)調(diào)開關(guān)
LED電壓指示
反射/透射光轉(zhuǎn)換開關(guān)
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內(nèi)裝3 W白色LED光源
光量預(yù)調(diào)開關(guān)
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對焦單元
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電動調(diào)焦
行程25 mm
小刻度單位為0.01 μm
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行程25 mm
微調(diào)旋鈕1圈的微調(diào)行程為100 μm
小刻度單位為1 μm
可設(shè)聚焦粗調(diào)上限停止位置,粗調(diào)旋鈕張力可調(diào)
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大標(biāo)本高度
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25
mm(不包含臂長調(diào)節(jié)器)
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65
mm(不包含臂長調(diào)節(jié)器)
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觀察筒
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廣角視場
(視場數(shù)為22)
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倒置∶雙目鏡筒、三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒
正象∶三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒
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超寬視場
(視場數(shù)為26.5)
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倒置∶三目鏡筒
正象∶三目鏡筒、傾斜式三目鏡筒
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反射光
照明裝置
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明視場等
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BX-RLAA
電動明/暗視場轉(zhuǎn)換
電動孔徑光闌
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BX-AKMA-LED/BX-KMA-LED
3 W白色LED照明
明視場/微分干涉/簡易偏振光
對應(yīng)ESD功能
僅BX-AKMA-LED具有的功能:
斜射照明裝置
AS(帶中心輸出機(jī)構(gòu))
斜射照明的位置設(shè)置
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反射光
熒光
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BX-RFAA
電動六孔轉(zhuǎn)盤
內(nèi)置電動光閘
備有視場光闌和孔徑光闌
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透射光照明裝置
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100
W鹵素?zé)?span lang="EN-US">
阿貝聚光鏡/長工作距離聚光鏡
內(nèi)置透射光濾鏡(LBD、ND25、ND6)
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物鏡轉(zhuǎn)換器
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明視場用
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電動六孔
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五孔、六孔(對應(yīng)ESD功能)、七孔
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明/暗視場用
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電動五孔、電動六孔、中心輸出五孔
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載物臺
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帶左手(右手)用同軸驅(qū)動旋鈕的載物臺:76 (X) × 52 (Y) mm,張力可調(diào)
帶左手(右手)用同軸驅(qū)動旋鈕的大型載物臺:100 (X) × 105 (Y) mm,附設(shè)Y軸鎖定機(jī)構(gòu)
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ESD性能
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表面電阻108Ω以下,放電時(shí)間少于0.2秒*
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外形尺寸
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約318(寬) × 602(長)× 541(高)mm
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約283(寬) × 455(長) × 480(高)mm
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重量
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約25.5 kg
(機(jī)身約重11.4 kg)
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約14 kg
(機(jī)身約重6.7 kg)
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BXFM
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BXFM-S
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光學(xué)系統(tǒng)
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UIS2光學(xué)系統(tǒng)(無限遠(yuǎn)校正)
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機(jī)身
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對焦單元
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行程30 mm、微調(diào)旋鈕1圈的微調(diào)行程為200
μm、小刻度單位2 μm、粗調(diào)旋鈕張力可調(diào)
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觀察筒
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廣角視場
(視場數(shù)為22)
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倒置∶雙目鏡筒、三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒
正象∶三目鏡筒、傾斜式雙目鏡筒
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超寬視場
(視場數(shù)為26.5)
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倒置∶三目鏡筒
正象∶三目鏡筒、傾斜式三目鏡筒
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反射光
照明裝置
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明視場等
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BX-RLA2
100 W鹵素?zé)簦裳b高亮度光源、光纖照明裝置)
明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光
備有視場光闌和孔徑光闌(帶中心輸出機(jī)構(gòu))
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U-KMAS
100 W鹵素?zé)艄饫w照明裝置
明視場/微分干涉/簡易偏振光
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反射光
熒光
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BX-URA2
100 W汞燈、75
W氙氣燈
六孔分光鏡組件(標(biāo)準(zhǔn):WB、WG、WU+BF等)
備有視場光闌和孔徑光闌(帶中心輸出機(jī)構(gòu))及光閘機(jī)構(gòu)
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物鏡轉(zhuǎn)換器
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明視場用
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六孔、中心輸出六孔、七孔(電動物鏡轉(zhuǎn)換器選購件)
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明/暗視場用
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五孔、中心輸出五孔、六孔轉(zhuǎn)盤(電動物鏡轉(zhuǎn)換器選購件)
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外形尺寸
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約248(寬)× 587(長)×
249(高)mm
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約394 (寬) × 334 (長) × 276(高) mm
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重量
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約9 kg(標(biāo)準(zhǔn)組合)
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約6.2 kg (標(biāo)準(zhǔn)組合)
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